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hhy_china

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】纳米级中间层的结构表征

我们做了一个Cu/IMC/Ni的三明治结构,现在希望确定IMC(金属间化合物)层(10-100nm厚)的结构。但是由于Cu和Ni层都很厚,做XRD很难分辨出Cu和Ni以外的峰。做TEM,在做离子减薄过程,由于IMC要比Cu和Ni层硬很多,往往都是Cu和Ni层都大了很大的洞,IMC层还很厚。请教各位高手,有什么办法或是好的方法来观测IMC层的结构。
[search]金属间化合物[/search]
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hhy_china

银虫 (小有名气)

TEM样品的制备过程如下:将处理好的样品多层粘贴,切割成3mm*3mm左右的小块,沿横截面砂纸磨薄到10um以下,粘贴在铜网上,进行离子减薄(也可以做双喷,但是我们这里不太方便)。
4楼2008-07-28 19:37:37
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ehshg

木虫 (小有名气)

不知你的TEM试样具体是如何制备的
3楼2008-07-28 14:59:30
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yangyang100

银虫 (小有名气)

TEM做包埋的不知道有没有用,你可以尝试去扫个元素分析吧
5楼2008-07-29 09:20:45
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