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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 有没有研究硅基纳米线（柱）的
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范少

银虫 (小有名气)

[交流] 有没有研究硅基纳米线（柱）的

单晶硅上做出纳米柱体，有没有研究这个方向的大家讨论一下，先说说我打算怎么做的，首先，硅片洗净后进行管式炉热氧化，二氧化硅的厚度大概是200nm左右，然后光刻，光刻完进行腐蚀去胶体，将二氧化硅掩膜复制到硅片上，然后进行化学刻蚀，配置一定浓度的HF和双氧水，将样品放入，进行水浴50°加热2h，有经验的学长或者前辈给指导一下，这种方案可行吗？有哪些不足的地方，都是为了科研，希望大家不要吝啬，我的金币有限只能给这么多，希望大家能不是为了金币而回帖。
祝好！
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1楼 2015-06-16 14:57:23
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范少

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zxyofsjtu at 2015-06-16 15:06:28
电子束光刻，然后镀膜，再RIE刻蚀就行了吧

目前我们有的只是国产光刻机，接触式的，而且直径目前做到了5微米。RIE刻蚀没有相关机器，只能用湿法刻蚀
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52楼2015-06-16 17:50:33
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zxyofsjtu

新虫 (小有名气)
★
范少(金币+1): 谢谢参与
电子束光刻，然后镀膜，再RIE刻蚀就行了吧

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
2楼2015-06-16 15:06:28
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假大空5楼
2015-06-16 15:30   回复  
范少(金币+1): 谢谢参与
zhchzhsh207611楼
2015-06-16 15:46   回复  
范少(金币+1): 谢谢参与
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