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磁控溅射仪 已有1人参与
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| 请问各位大神磁控溅射仪器上的“薄膜规真空度”“溅射室真空度“前级真空度”指的各是什么真空度，那工作气压应该看哪个真空度，从仪器上是否可以直接看出，谢谢。 |
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shenghuosh
铁虫 (初入文坛)
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