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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 设备设计与开发 » 磁控溅射仪
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why_nancy

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射仪 已有1人参与

请问各位大神磁控溅射仪器上的“薄膜规真空度”“溅射室真空度“前级真空度”指的各是什么真空度，那工作气压应该看哪个真空度，从仪器上是否可以直接看出，谢谢。
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1楼 2015-06-10 10:36:14
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shenghuosh

铁虫 (初入文坛)
“薄膜规真空度”与电离规的作用相同，都是用来测试真空室的真空度的，但是薄膜规能够在乙炔或者氧化性的气氛中工作。
“前级真空度”一般采用金属规进行测量，属于低真空度的测量范围，一般用于衡量机械泵抽气的真空度。
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许建平
3楼2015-06-12 22:34:46
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木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
why_nancy: 金币+20, ★★★很有帮助 2015-06-12 18:09:02
溅射室电离规真空度

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2楼2015-06-10 16:45:09
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材料木木

新虫 (职业作家)
这学期刚学完磁控溅射原理，一直就没搞懂，模模糊糊。
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不高不帅，没钱没时间。但还是希望有个伴。
4楼2015-06-14 08:40:15
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