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磁控溅射仪 已有1人参与
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| 请问各位大神磁控溅射仪器上的“薄膜规真空度”“溅射室真空度“前级真空度”指的各是什么真空度，那工作气压应该看哪个真空度，从仪器上是否可以直接看出，谢谢。 |
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2楼2015-06-10 16:45:09
shenghuosh
铁虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
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- 虫号: 843389
- 注册: 2009-09-08
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2015-06-12 22:34:46
4楼2015-06-14 08:40:15