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黎枫14

金虫 (小有名气)

[求助] 化学机械抛光后表面显微形貌

请大家帮我看看,镍基合金化学机械抛光后,显微形貌图。这是什么类型缺陷,蚀坑,波纹     、   桔皮  还是麻点。
olympus显微镜拍的。

化学机械抛光后表面显微形貌
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机械制造、化学机械抛光(CMP)
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黎枫14

金虫 (小有名气)

有没化学机械抛光的前辈,这些缺陷类型怎么看,一直迷惑中,没见过这些缺陷到底是啥样。
机械制造、化学机械抛光(CMP)
2楼2015-06-05 09:17:11
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