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黎枫14

金虫 (小有名气)

[求助] 化学机械抛光后表面显微形貌

请大家帮我看看，镍基合金化学机械抛光后，显微形貌图。这是什么类型缺陷，蚀坑，波纹     、   桔皮  还是麻点。
olympus显微镜拍的。

化学机械抛光后表面显微形貌
P1289480.JPG
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机械制造、化学机械抛光（CMP）
1楼 2015-06-05 09:15:16
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黎枫14

金虫 (小有名气)
有没化学机械抛光的前辈，这些缺陷类型怎么看，一直迷惑中，没见过这些缺陷到底是啥样。
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机械制造、化学机械抛光（CMP）
2楼2015-06-05 09:17:11
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