| 查看: 3108 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
声表面波滤波器（SAW filter）之叉指换能器（IDT）设计，大家有什么好的建议没。
|
|||
|
本人想设计一种比较简单的声表面波器件，通过器件性能测试来表征AlN压电薄膜的压电系数d33、机电耦合系数等基本参数，但偶对器件设计设计基本是一窍不通，毕竟不是这个专业的（俺是搞材料的），不知道如何设计mask、光刻工艺等等后续加工步骤。 初步构想是，IDT指宽1μm，指间距等于指宽，指采用Al膜，厚度200nm，和微电子所老师沟通采用负胶（但他们毕竟不是做SAW的，没有给出过多的建议）， 那么问题来了，试样大小一般10*10mm（比较小），多片（大概5、6片吧，厚度基本一致） 1、一般指对数一般用多少（30对合适吗）？ 2、指间重叠区域的长度有什么原则？ 3、两边的吸声材料一般选择什么材料，如何设计形状位置、沉积工艺等？ 4、引出的电极一般如何设计？选用材料、引出位置、长度等？ 5、输入端与输出端IDT之间的间隔一般多远？ 6、若想同时对多个衬底表面进行掩膜、光刻，而微电子所一般采用2.5inch的板，如何排布我的试样，可以保证表面基本处于同一水平位置？ 7、其他未尽事宜，也请大家多多补充，给出建议。 Note：此贴也算是对IDT设计的综合帖靶，希望大家踊跃发言，可能的话，对以后关注这方面的人也能提供点帮助，不要心疼我的金币，跟帖越多金币越多哦。 |
回复此楼» 猜你喜欢
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有181人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有2人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于如何利用声表面波滤波器产生声表面波
已经有6人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
招收调剂生，动物医学专业
+1/90
-
海南大学化工院生物质定向转化课题组招收博士/硕士，2026年9月入学
+1/84
-
福建师范大学招收2026年化学、材料硕士3-4名
+1/80
-
浙江农林大学招收调剂
+1/79
-
飘在美国，有点想家
+1/53
-
研究生 调剂 看过来- 机械、控制工程、力学类（流体力学、一般力学等） 211 双一流
+1/43
-
华南师范大学（211）博士招生- 电子、自动化、机械、生物学、物理相关专业
+2/42
-
上海交大化院功能大分子团队招2026年硕士、联培、博士后
+1/32
-
北京航空航天大学招生微流控与智能打印技术方向博士研究生
+2/20
-
浙江中医药大学副校长团队招聘药学/生物信息学等方向高校教师7名，报名通道已开启
+1/19
-
医学327分专硕调剂
+1/16
-
招收专业代码08的学硕！
+1/16
-
26年申博自荐-计算机视觉
+1/6
-
211/双一流石河子大学化学化工学院--电催化，CO2转化
+1/5
-
东北林业大学（211，双一流）宋老师课题组招收高分子、化学、复合材料等方向研究生
+1/4
-
中科院上海微系统所材料生长理论与仿真课题组-博士后招聘（材料计算与AI4S）
+1/4
-
南京理工大学2026级硕士生招生-张光普博导 &硕导
+2/4
-
2026年浙江清华长三角研究院智慧能源中心招聘博士后-电气方向
+1/2
-
福建师范大学环境微生物技术课题组接受2026级硕士调剂
+1/1
-
中山大学医学院赵博课题组硕士招生
+1/1
23楼2015-06-10 10:10:05
简单回复
Walnut19楼
2015-06-04 23:06
回复
zbnet(金币+1): 谢谢参与
？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
