| 查看: 3190 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
声表面波滤波器（SAW filter）之叉指换能器（IDT）设计，大家有什么好的建议没。
|
|||
|
本人想设计一种比较简单的声表面波器件，通过器件性能测试来表征AlN压电薄膜的压电系数d33、机电耦合系数等基本参数，但偶对器件设计设计基本是一窍不通，毕竟不是这个专业的（俺是搞材料的），不知道如何设计mask、光刻工艺等等后续加工步骤。 初步构想是，IDT指宽1μm，指间距等于指宽，指采用Al膜，厚度200nm，和微电子所老师沟通采用负胶（但他们毕竟不是做SAW的，没有给出过多的建议）， 那么问题来了，试样大小一般10*10mm（比较小），多片（大概5、6片吧，厚度基本一致） 1、一般指对数一般用多少（30对合适吗）？ 2、指间重叠区域的长度有什么原则？ 3、两边的吸声材料一般选择什么材料，如何设计形状位置、沉积工艺等？ 4、引出的电极一般如何设计？选用材料、引出位置、长度等？ 5、输入端与输出端IDT之间的间隔一般多远？ 6、若想同时对多个衬底表面进行掩膜、光刻，而微电子所一般采用2.5inch的板，如何排布我的试样，可以保证表面基本处于同一水平位置？ 7、其他未尽事宜，也请大家多多补充，给出建议。 Note：此贴也算是对IDT设计的综合帖靶，希望大家踊跃发言，可能的话，对以后关注这方面的人也能提供点帮助，不要心疼我的金币，跟帖越多金币越多哦。 |
回复此楼» 猜你喜欢
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有8人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有91人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
-
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有8人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有10人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于如何利用声表面波滤波器产生声表面波
已经有6人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
青岛大学/康复大学导师课题组2026年博士研究生
+3/359
-
凝胶成像，WB化学发光成像系统专业制造商-上海新叶分析仪器
+1/88
-
广西高校3个材料与化工专业的硕士名额，计划做光谱、光电器件和机器学习相结合的工作
+1/87
-
fluent 化学反应部分预混、三维全尺寸计算慢与压力小问题请教
+1/38
-
广西科技大学化工专业现仍有较多调剂指标，欢迎符合条件的同学申请调剂
+1/36
-
岭南师范学院化学化工学院生物与医药制药工程专业需要大量调剂生
+1/23
-
香港中文大学陈也课题组、香港中文大学（深圳）陈仲欣课题组招收联合培养博士后
+1/20
-
调剂信息
+1/15
-
大连海洋大学资源与环境专硕（0857）接收调剂学生
+1/15
-
吉林大学李凯伟课题组招光纤传感器、触觉传感器方向博士生
+1/13
-
上海交通大学材料成形（塑性加工）常年招聘硕士研究生、博士研究生和博士后
+1/10
-
复试调剂-招收调剂生（一志愿07开头专业），海洋生物专业4个名额
+1/9
-
中国科学技术大学苏州高等研究院凤建岗课题组诚招博士后
+1/8
-
省重点实验室招收07专业调剂生，海洋生物专业名额充足
+1/8
-
中科院物理所李泓/吉林大学毛慧灿团队联合诚聘博士后
+1/8
-
深圳理工大学李进课题组招收科研助理/访问学生
+1/7
-
山东大学集成电路学院招博士了
+1/7
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
+1/4
-
知名外资仪器厂家急招Application Scientist-成都上海
+1/3
-
高纯氢纯度分级应用指南：5N/7N/9N 应用场景解析
+1/2
23楼2015-06-10 10:10:05
简单回复
Walnut19楼
2015-06-04 23:06
回复
zbnet(金币+1): 谢谢参与
？ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
