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熔体法生长的单晶老是有裂纹?
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性别: GG
专业: 半导体材料
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熔体法生长的单晶老是有裂纹?
在用熔体法生长单晶,可是生长的单晶老是有裂纹。
裂纹有时候是较大但比较少的裂纹;有时候是很多细小的裂纹。
不知道是生长期就产生的裂纹还是降温期因应力而产生的裂纹。尝试更改过生长时长和降温速度,但都没有解决这个问题。
请问生长周期和降温周期哪一个影响因素比较大?
P50528-085349.jpg
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2015-06-04 09:39:48
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