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天无语00

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻图形已有4人参与

各位大神，请教大家一个问题，这两张图是我用5214光刻胶做的光刻图形，图形的边缘特别粗糙不光滑，我是按着图片里那个参数设置的，这个参数是参考的5214的技术文档，哪位好心人能帮我看看问题可能出在哪吗，小弟感激不尽！

光刻图形
IMG_20150601_103137.jpg


光刻图形-1
mmexport1433130201075.jpg
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1楼2015-06-01 18:06:58
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