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光刻图形 已有4人参与
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各位大神，请教大家一个问题，这两张图是我用5214光刻胶做的光刻图形，图形的边缘特别粗糙不光滑，我是按着图片里那个参数设置的，这个参数是参考的5214的技术文档，哪位好心人能帮我看看问题可能出在哪吗，小弟感激不尽！ IMG_20150601_103137.jpg  mmexport1433130201075.jpg |
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 合成制备 |
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2楼2015-06-23 10:15:07
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本帖内容被屏蔽 |
3楼2015-07-06 15:28:10
quanten
金虫 (著名写手)
QQ群(NW-FET): 157220400
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- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
4楼2015-07-07 06:23:52
5楼2015-07-07 13:08:28
6