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雨之长门

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请教!针尖与样品之间的间距控制

针尖是硅片上湿法刻蚀后形成的倒金字塔空腔,再背面释放刻体硅后形成的,针尖高度约为35μm。现在想要控制该针尖与被加工样品之间的间距,控制范围大概在百纳米级,该用何种方法原理测量间距并控制比较好呢?
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2楼2015-05-31 21:50:36
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8楼2015-05-31 22:49:27
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10楼2015-05-31 23:27:14
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