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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 请教！针尖与样品之间的间距控制
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雨之长门

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请教！针尖与样品之间的间距控制

针尖是硅片上湿法刻蚀后形成的倒金字塔空腔，再背面释放刻体硅后形成的，针尖高度约为35μm。现在想要控制该针尖与被加工样品之间的间距，控制范围大概在百纳米级，该用何种方法原理测量间距并控制比较好呢？
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1楼 2015-05-31 21:46:30
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Walnut1
★
雨之长门(金币+1): 谢谢参与
！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2015-05-31 22:42:29
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