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雨之长门铁虫 (初入文坛)
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请教！针尖与样品之间的间距控制
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| 针尖是硅片上湿法刻蚀后形成的倒金字塔空腔，再背面释放刻体硅后形成的，针尖高度约为35μm。现在想要控制该针尖与被加工样品之间的间距，控制范围大概在百纳米级，该用何种方法原理测量间距并控制比较好呢？ |
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2楼2015-05-31 21:50:36
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