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莫邪子

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射仪 已有2人参与

磁控溅射仪,用Ar+离子溅射出来的靶材是原子 还是离子
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chenqisong

木虫 (正式写手)

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感谢参与,应助指数 +1
溅射出的有靶原子,也有离子。最终到达衬底或基片的是靶原子。正离子由于与电场方向相反被减速(当然也有来自磁场的阻碍)回到靶材表面。
新知*新世界*心动
2楼2015-05-31 11:03:20
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莫邪子

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by chenqisong at 2015-05-31 11:03:20
溅射出的有靶原子,也有离子。最终到达衬底或基片的是靶原子。正离子由于与电场方向相反被减速(当然也有来自磁场的阻碍)回到靶材表面。

负离子那岂不是 要飞向靶材么? 会不会溅射出来 原子团,离子团之类的
3楼2015-05-31 16:51:12
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chenqisong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 莫邪子 at 2015-05-31 16:51:12
负离子那岂不是 要飞向靶材么? 会不会溅射出来 原子团,离子团之类的...

想多了,溅射出成团的…,一般都没有那么大的溅射率。

[ 发自小木虫客户端 ]
新知*新世界*心动
4楼2015-05-31 17:41:32
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houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
单质靶溅射出的肯定是原子,化合物一般是原子团。
5楼2015-06-01 10:16:23
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