24小时热门版块排行榜    

查看: 1013  |  回复: 4

莫邪子

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射仪 已有2人参与

磁控溅射仪,用Ar+离子溅射出来的靶材是原子 还是离子
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenqisong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
溅射出的有靶原子,也有离子。最终到达衬底或基片的是靶原子。正离子由于与电场方向相反被减速(当然也有来自磁场的阻碍)回到靶材表面。
新知*新世界*心动
2楼2015-05-31 11:03:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

莫邪子

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by chenqisong at 2015-05-31 11:03:20
溅射出的有靶原子,也有离子。最终到达衬底或基片的是靶原子。正离子由于与电场方向相反被减速(当然也有来自磁场的阻碍)回到靶材表面。

负离子那岂不是 要飞向靶材么? 会不会溅射出来 原子团,离子团之类的
3楼2015-05-31 16:51:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenqisong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 莫邪子 at 2015-05-31 16:51:12
负离子那岂不是 要飞向靶材么? 会不会溅射出来 原子团,离子团之类的...

想多了,溅射出成团的…,一般都没有那么大的溅射率。

[ 发自小木虫客户端 ]
新知*新世界*心动
4楼2015-05-31 17:41:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
单质靶溅射出的肯定是原子,化合物一般是原子团。
5楼2015-06-01 10:16:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 莫邪子 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 C79jjtjAKjEn 2026-09-15 3/150 2026-09-18 03:30 by cITaGg3p5edr
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-18 00:28 by cITaGg3p5edr
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-17 23:28 by cuPZTDXS3VOd
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +7 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 7/350 2026-09-17 22:53 by cuPZTDXS3VOd
[考研] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +8 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 8/400 2026-09-17 22:53 by cuPZTDXS3VOd
[硕博家园] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-17 22:29 by cuPZTDXS3VOd
[考研] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +8 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 9/450 2026-09-17 22:05 by cuPZTDXS3VOd
[基金申请] 国社科系统bug了,是不是要放榜了? +5 kynobel 2026-09-16 6/300 2026-09-17 21:37 by tosogo
[考研] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 6/300 2026-09-17 14:17 by ObVzqQQh1rrE
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 yaCh4X3wd045 2026-09-14 4/200 2026-09-17 13:17 by ObVzqQQh1rrE
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-17 12:39 by ObVzqQQh1rrE
[找工作] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +8 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 8/400 2026-09-17 11:27 by UAIjTRMuUFoj
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 4/200 2026-09-17 04:52 by k06BKNblrGRH
[公派出国] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-17 03:52 by k06BKNblrGRH
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-17 02:14 by Tql5LQhh5rLK
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 6/300 2026-09-16 14:27 by i3KBRD19ERkG
[考博] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +7 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 7/350 2026-09-15 16:23 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 08:02 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-14 16:13 by Aj1rhIDL5ixY
[考博] 27秋季材料博士申请求助 10+3 Cahal1 2026-09-11 4/200 2026-09-14 08:50 by 北京莱茵编辑
信息提示
请填处理意见