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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 磁控溅射仪
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莫邪子

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射仪 已有2人参与

磁控溅射仪，用Ar+离子溅射出来的靶材是原子 还是离子
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1楼 2015-05-30 10:20:46
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chenqisong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
溅射出的有靶原子，也有离子。最终到达衬底或基片的是靶原子。正离子由于与电场方向相反被减速（当然也有来自磁场的阻碍）回到靶材表面。
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新知*新世界*心动
2楼2015-05-31 11:03:20
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莫邪子

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chenqisong at 2015-05-31 11:03:20
溅射出的有靶原子，也有离子。最终到达衬底或基片的是靶原子。正离子由于与电场方向相反被减速（当然也有来自磁场的阻碍）回到靶材表面。

负离子那岂不是 要飞向靶材么？ 会不会溅射出来 原子团，离子团之类的
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3楼2015-05-31 16:51:12
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chenqisong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 莫邪子 at 2015-05-31 16:51:12
负离子那岂不是 要飞向靶材么？ 会不会溅射出来 原子团，离子团之类的...

想多了，溅射出成团的…，一般都没有那么大的溅射率。

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新知*新世界*心动
4楼2015-05-31 17:41:32
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houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
单质靶溅射出的肯定是原子，化合物一般是原子团。
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5楼2015-06-01 10:16:23
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