应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 磁控溅射仪
51/1返回列表
查看: 781  |  回复: 4
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

莫邪子

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射仪已有2人参与

磁控溅射仪，用Ar+离子溅射出来的靶材是原子 还是离子
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼2015-05-30 10:20:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenqisong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
溅射出的有靶原子，也有离子。最终到达衬底或基片的是靶原子。正离子由于与电场方向相反被减速（当然也有来自磁场的阻碍）回到靶材表面。
赞一下 回复此楼
新知*新世界*心动
2楼2015-05-31 11:03:20
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

莫邪子

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chenqisong at 2015-05-31 11:03:20
溅射出的有靶原子，也有离子。最终到达衬底或基片的是靶原子。正离子由于与电场方向相反被减速（当然也有来自磁场的阻碍）回到靶材表面。

负离子那岂不是 要飞向靶材么？ 会不会溅射出来 原子团，离子团之类的
赞一下 回复此楼
3楼2015-05-31 16:51:12
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenqisong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 莫邪子 at 2015-05-31 16:51:12
负离子那岂不是 要飞向靶材么？ 会不会溅射出来 原子团，离子团之类的...

想多了，溅射出成团的…，一般都没有那么大的溅射率。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下(1人) 回复此楼
新知*新世界*心动
4楼2015-05-31 17:41:32
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
单质靶溅射出的肯定是原子，化合物一般是原子团。
赞一下 回复此楼
5楼2015-06-01 10:16:23
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 莫邪子 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭