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一年始

金虫 (初入文坛)

[求助] 等离子体仿真 已有2人参与

大家等离子体仿真用的什么软件,comsol做不了磁控溅射的,本人想做这块,对原理不是太了解,有懂等离子体仿真的给指点下,谢谢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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xiaoxia_

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 一年始 at 2015-05-28 08:41:34
主要想看等离子体空间分布情况
...

comsol应该有相应模块的,实在不行楼主就仿下电磁场,然后借助MHD模型,自己来计算下粒子分布,应该可以达到相同的效果
奔跑在路上
8楼2015-05-29 07:56:50
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查看全部 10 个回答

一年始

金虫 (初入文坛)

或者有这方面资料可以分享的

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2015-05-25 23:09:59
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
comsol应该可以的,电磁场肯定没问题啊,楼主是要模拟磁控溅射的具体过程吗,比如刻蚀过程或沉积过程?

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-05-27 07:08:41
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zjixizi22

新虫 (正式写手)

我用的是CST软件,采用FDTD算法
4楼2015-05-27 10:16:49
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