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一年始

金虫 (初入文坛)

[求助] 等离子体仿真 已有2人参与

大家等离子体仿真用的什么软件，comsol做不了磁控溅射的，本人想做这块，对原理不是太了解，有懂等离子体仿真的给指点下，谢谢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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1楼 2015-05-25 23:04:56
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一年始

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2015-05-27 07:08:41
comsol应该可以的，电磁场肯定没问题啊，楼主是要模拟磁控溅射的具体过程吗，比如刻蚀过程或沉积过程？

主要想看等离子体空间分布情况

[ 发自小木虫客户端 ]
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6楼2015-05-28 08:41:34
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一年始

金虫 (初入文坛)
或者有这方面资料可以分享的

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2楼2015-05-25 23:09:59
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
comsol应该可以的，电磁场肯定没问题啊，楼主是要模拟磁控溅射的具体过程吗，比如刻蚀过程或沉积过程？

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3楼2015-05-27 07:08:41
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zjixizi22

新虫 (正式写手)
我用的是CST软件，采用FDTD算法
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4楼2015-05-27 10:16:49
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