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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 在石英片上溅射一层Pt
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fyl1989

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by zhanghf01 at 2015-05-21 19:07:58
靶基距多少较好？我溅射钛时，用的基距是60...

可以再大点，7或者8，但是工艺需要摸索摸索...
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11楼2015-05-21 21:37:13
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liailong

铁杆木虫 (著名写手)
想不明白你为什么要在石英片上溅射铂？
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自强不息，厚德载物！
12楼2015-05-22 19:27:50
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mzhyan

至尊木虫 (文坛精英)
blessing
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13楼2015-05-22 20:56:14
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mlanqiang

木虫之王 (文学泰斗)

蓝博士
blessing
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蓝精灵
14楼2015-05-22 21:18:27
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810043138
15楼2015-05-22 21:29:23
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lisx2525

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
上面fyl1989 回复的很好， 在镀膜前你的基片上的粗糙度 需要处理的非常好，最好能到5个埃一下。镀膜后马上测试，在空气中粗糙度很快很变掉。
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16楼2015-06-04 16:01:37
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by fyl1989 at 2015-05-19 08:34:23
一般粘附层没有用溅射做的，都是用蒸发，能买得起Pt靶，想必楼主那科研条件还不错，建议用蒸发做，尤其是那么薄的Pt。如果不可实现，至少粘附层用蒸发做，然后溅射Pt，用AFM或SEM看看是否是连续的。

请教一下溅射的膜达到连成一片的程度，一般最薄能做多厚？
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17楼2015-06-05 16:31:44
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