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fyl1989

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by zhanghf01 at 2015-05-21 19:07:58
靶基距多少较好?我溅射钛时,用的基距是60...

可以再大点,7或者8,但是工艺需要摸索摸索...
11楼2015-05-21 21:37:13
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liailong

铁杆木虫 (著名写手)

想不明白你为什么要在石英片上溅射铂?
自强不息,厚德载物!
12楼2015-05-22 19:27:50
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mzhyan

至尊木虫 (文坛精英)

blessing
13楼2015-05-22 20:56:14
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mlanqiang

木虫之王 (文学泰斗)

蓝博士

blessing
蓝精灵
14楼2015-05-22 21:18:27
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15楼2015-05-22 21:29:23
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lisx2525

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
上面fyl1989 回复的很好, 在镀膜前你的基片上的粗糙度 需要处理的非常好,最好能到5个埃一下。镀膜后马上测试,在空气中粗糙度很快很变掉。
16楼2015-06-04 16:01:37
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FLYFWY

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by fyl1989 at 2015-05-19 08:34:23
一般粘附层没有用溅射做的,都是用蒸发,能买得起Pt靶,想必楼主那科研条件还不错,建议用蒸发做,尤其是那么薄的Pt。如果不可实现,至少粘附层用蒸发做,然后溅射Pt,用AFM或SEM看看是否是连续的。

请教一下溅射的膜达到连成一片的程度,一般最薄能做多厚?
17楼2015-06-05 16:31:44
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