抛光后金属表面清洗问题 - 金属 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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禁虫 (小有名气)

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11楼2016-01-15 13:01:49

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金虫 (小有名气)

沈阳科晶的，小抛光机，我们做的是化学机械抛光，把ic行业的工艺拿过来做。你可以买些现成的抛光液，抛光垫试试看。2个nm很轻易的可以搞定。

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机械制造、化学机械抛光（CMP）

12楼2016-01-15 14:50:31

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新虫 (初入文坛)

你好，我想请教一下你化学机械抛光的实验过程？方便联系吗？我的邮箱是hy_wu@whu.edu.cn

13楼2017-12-13 20:19:30

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