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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 抛光后金属表面清洗问题
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黎枫14

金虫 (小有名气)

[求助] 抛光后金属表面清洗问题 已有2人参与

10×10mm的小片子，材料是镍基或者钛合金，cmp后1，2个纳米的粗糙度。清洗时，先加热把蜡融掉，再用丙酮超声去蜡清洗，以后用纸扇风吹干，可表面雾蒙蒙的应该是蜡去不干净，不像干抛后那么亮。超声多次了。。也试过用丙酮泡个几天，还是差不多，   大家有没什么好方法？

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机械制造、化学机械抛光（CMP）
1楼 2015-05-11 22:42:14
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黎枫14

金虫 (小有名气)
沈阳科晶的，小抛光机，我们做的是化学机械抛光，把ic行业的工艺拿过来做。你可以买些现成的抛光液，抛光垫试试看。2个nm很轻易的可以搞定。

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机械制造、化学机械抛光（CMP）
12楼2016-01-15 14:50:31
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是否是在“加热把蜡融掉”的这个步骤中有什么问题呢？能否麻烦一点，直接在常温用丙酮泡掉又会如何呢？
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2楼2015-05-11 23:04:01
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黎枫14

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-05-11 23:04:01
是否是在“加热把蜡融掉”的这个步骤中有什么问题呢？能否麻烦一点，直接在常温用丙酮泡掉又会如何呢？

片子是用蜡粘在配重块上的，要加热才能把片子取下来。

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机械制造、化学机械抛光（CMP）
3楼2015-05-12 07:32:48
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by 黎枫14 at 2015-05-12 07:32:48
片子是用蜡粘在配重块上的，要加热才能把片子取下来。
...

加热会导致表面的氧化，而且导致表面的热残余应力。这都对降低表面粗糙度数值不利。
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4楼2015-05-12 08:06:20
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