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黎枫14

金虫 (小有名气)

[求助] 抛光后金属表面清洗问题 已有2人参与

10×10mm的小片子,材料是镍基或者钛合金,cmp后1,2个纳米的粗糙度。清洗时,先加热把蜡融掉,再用丙酮超声去蜡清洗,以后用纸扇风吹干,可表面雾蒙蒙的应该是蜡去不干净,不像干抛后那么亮。超声多次了。。也试过用丙酮泡个几天,还是差不多,   大家有没什么好方法?

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机械制造、化学机械抛光(CMP)
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wuhengyi

新虫 (初入文坛)

你好,我想请教一下你化学机械抛光的实验过程?方便联系吗?我的邮箱是hy_wu@whu.edu.cn
13楼2017-12-13 20:19:30
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是否是在“加热把蜡融掉”的这个步骤中有什么问题呢?能否麻烦一点,直接在常温用丙酮泡掉又会如何呢?
2楼2015-05-11 23:04:01
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黎枫14

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-05-11 23:04:01
是否是在“加热把蜡融掉”的这个步骤中有什么问题呢?能否麻烦一点,直接在常温用丙酮泡掉又会如何呢?

片子是用蜡粘在配重块上的,要加热才能把片子取下来。

[ 发自小木虫客户端 ]
机械制造、化学机械抛光(CMP)
3楼2015-05-12 07:32:48
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
3楼: Originally posted by 黎枫14 at 2015-05-12 07:32:48
片子是用蜡粘在配重块上的,要加热才能把片子取下来。
...

加热会导致表面的氧化,而且导致表面的热残余应力。这都对降低表面粗糙度数值不利。
4楼2015-05-12 08:06:20
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