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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹

[交流] 【求助】氢化纳米硅、非晶硅样品的保存

各位做氢化纳米硅、非晶硅薄膜的同行,有个问题请教一下:各位的样品都是怎么存放的啊?
我的放在干燥皿里面发现第二天就氧化了,样品中氧含量非常高。
大家给点指点吧

[ Last edited by ddx-k on 2008-12-4 at 19:50 ]
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以后是做爹的人啦
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹

自制的热丝CVD,衬底不加热的
以后是做爹的人啦
6楼2008-07-16 20:39:45
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查看全部 9 个回答

fenghbu

木虫 (正式写手)

有这么严重么?原来,我也在做过一些,没有注意到。
呵呵,天天快乐!
3楼2008-07-12 10:57:35
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹

也可能是我工艺有问题,但确实氧化的非常严重,刚做出来暗红色,隔天就变透明的金黄色了
不知是怎么回事
放N2气里总不是个长久的方法啊,总有要拿出来的时候啊,唉……
以后是做爹的人啦
4楼2008-07-12 13:03:54
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fenghbu

木虫 (正式写手)


zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流
引用回帖:
Originally posted by mruniverse at 2008-7-12 13:03:
也可能是我工艺有问题,但确实氧化的非常严重,刚做出来暗红色,隔天就变透明的金黄色了
不知是怎么回事
放N2气里总不是个长久的方法啊,总有要拿出来的时候啊,唉……

你是用的什么方法(CVD?),厚度大约多少?一般说在室温下氢化非晶硅还是比价稳定的.
呵呵,天天快乐!
5楼2008-07-12 21:57:05
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