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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】氢化纳米硅、非晶硅样品的保存
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹

[交流] 【求助】氢化纳米硅、非晶硅样品的保存

各位做氢化纳米硅、非晶硅薄膜的同行，有个问题请教一下：各位的样品都是怎么存放的啊？
我的放在干燥皿里面发现第二天就氧化了，样品中氧含量非常高。
大家给点指点吧

[ Last edited by ddx-k on 2008-12-4 at 19:50 ]
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以后是做爹的人啦
1楼 2008-07-11 21:03:32
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
fenghbu(金币+1,VIP+0):thanks
put them in N2
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2楼2008-07-12 04:59:01
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fenghbu

木虫 (正式写手)
有这么严重么？原来，我也在做过一些，没有注意到。
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呵呵，天天快乐！
3楼2008-07-12 10:57:35
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹
也可能是我工艺有问题，但确实氧化的非常严重，刚做出来暗红色，隔天就变透明的金黄色了
不知是怎么回事
放N2气里总不是个长久的方法啊，总有要拿出来的时候啊，唉……
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以后是做爹的人啦
4楼2008-07-12 13:03:54
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fenghbu

木虫 (正式写手)
★
zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流
引用回帖:
Originally posted by mruniverse at 2008-7-12 13:03:
也可能是我工艺有问题，但确实氧化的非常严重，刚做出来暗红色，隔天就变透明的金黄色了
不知是怎么回事
放N2气里总不是个长久的方法啊，总有要拿出来的时候啊，唉……

你是用的什么方法(CVD?)，厚度大约多少？一般说在室温下氢化非晶硅还是比价稳定的.
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呵呵，天天快乐！
5楼2008-07-12 21:57:05
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹
自制的热丝CVD，衬底不加热的
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以后是做爹的人啦
6楼2008-07-16 20:39:45
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
热丝对衬底有加热作用，
衬底温度有多高啊？
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7楼2008-07-18 00:16:33
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹
当时用热电偶粗略的测了下，在100多一点儿
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以后是做爹的人啦
8楼2008-07-22 15:18:36
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happy@9

木虫 (正式写手)
没那么严重吧，我的放一个多月都没事！反正XRD、EDS都没看出来！
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9楼2008-07-28 22:41:27
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