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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 交换偏置怎么也做不出来，请各位大神指教！
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strandtju

银虫 (正式写手)

[交流] 交换偏置怎么也做不出来，请各位大神指教！ 已有1人参与

小弟近来在做Ni81Fe19/Fe50Mn50双层膜的交换偏置，但试了一个多月，怎么也做不出来，老板逼的又紧，请各位大神指教！
具体参数：Si（100）衬底（有300nm的氧化层），磁控溅射，base pressure 小于5×10^-7 Torr，先生长了15 nm 的Cu作缓冲层，然后在 180 Oe 磁场下生长 NiFe（5 nm），FeMn（ 6 nm），溅射功率15W，生长速率~0.7nm/min，最后生长2 nm Cu作保护层，每层长完后等待20min继续生长下一层。生长完成后等真空度恢复到5×10^-7 Torr时进行原位退火，升降温速率2K/min，保持在160 ℃ 10min。
我实在不知道哪一步出了问题，特请教于各位方家！
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山外青山
1楼 2015-04-28 11:44:54
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落草为理

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你可以测个XRD看看有没有诱导出FeNi的111织构
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2楼2015-06-09 22:23:00
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strandtju

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 落草为理 at 2015-06-10 02:23:00
你可以测个XRD看看有没有诱导出FeNi的111织构

谢谢！已经解决了，FeMn靶变质了。
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山外青山
3楼2015-06-09 22:46:45
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