| 查看: 150 | 回复: 2 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
freeman3铁虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】急问-请教薄膜方面专家
|
||
|
急问-请教薄膜方面专家 最近想做一些物理法渡膜的工作，但是对有些基本的问题还不是太懂，在这里请教一下。 对于目前常用的镀膜方法，比如 electron-beam deposition, ion-beam depositon（Ar+）, radio-frequency 磁控溅射，这三个方法比起来，是不是在精确度方面e-beam>ion-beam>磁控溅射？ 此外，film的质量呢？比如多孔性，疏松性，结晶性质等，是否有什么区别？ 我现在用的是Ar离子辅助的 ion-beam deposition，所以更想知道这个方法得到的膜的一些特征（target为SiO2，设备为Gatan 682 precise etching and deposition system）。 非常感谢 [ Last edited by caosw2001 on 2008-8-28 at 09:24 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有179人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
2楼2008-07-08 17:56:00
freeman3
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 99
- 散金: 75
- 帖子: 130
- 在线: 28.8小时
- 虫号: 339932
- 注册: 2007-04-07
- 性别: GG
- 专业: 无机材料化学
3楼2008-07-08 18:47:55
