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MOCVD 石墨基座 已有2人参与
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请问一下,MOCVD中的石墨基座表面所制备的碳化硅涂层,需要达到什么要求呢?涂层多厚呢? 有没有大神知道MOCVD中的石墨基座表面碳化硅涂层的具体参数?在哪里可以查到呢?多谢了! |
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wenjun5201
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