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MOCVD 石墨基座已有2人参与
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请问一下，MOCVD中的石墨基座表面所制备的碳化硅涂层，需要达到什么要求呢？涂层多厚呢？ 有没有大神知道MOCVD中的石墨基座表面碳化硅涂层的具体参数？在哪里可以查到呢？多谢了! |
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wenjun5201
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2楼2015-04-24 10:03:19
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