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红心鼠

金虫 (小有名气)

[求助] 请问目前用什么可以实现微米级涂封？急！！ 已有1人参与

大家好！本人目前想对晶粒进行涂封，即在一个金属表面上只露出一个晶粒，其他地方用不导电的东西封上（比如指甲油），晶粒大小为1-20微米。请问用哪些方法可以实现？？
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红心鼠

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1楼 2015-04-21 15:08:05
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红心鼠

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2015-04-22 12:41:52
关键是你的金属整个多大？？？
方法很多，可以用CVD在表面长SiO，SiN，金刚石等等。然后用激光打掉一个点。
或者用喷胶的方式在表面喷一层光刻胶或者其他polymer，然后用激光或者光刻的方法把一个微小区域的光刻胶 ...

恩恩 现在我也在想这种方法  试样整个10*10mm，但是我不太清楚这种激光打掉的方法能不能指哪打哪？因为得放大操作，毕竟晶粒太小了。 另：求教这种激光打的方法具体叫什么？北京哪里可以做呢？
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4楼2015-04-22 19:26:48
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红心鼠

金虫 (小有名气)
送红花一朵
谢谢呢  但是好像不是我的问题
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2楼2015-04-21 15:28:48
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
关键是你的金属整个多大？？？
方法很多，可以用CVD在表面长SiO，SiN，金刚石等等。然后用激光打掉一个点。
或者用喷胶的方式在表面喷一层光刻胶或者其他polymer，然后用激光或者光刻的方法把一个微小区域的光刻胶打掉。
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3楼2015-04-22 12:41:52
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红心鼠

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2015-04-22 12:41:52
关键是你的金属整个多大？？？
方法很多，可以用CVD在表面长SiO，SiN，金刚石等等。然后用激光打掉一个点。
或者用喷胶的方式在表面喷一层光刻胶或者其他polymer，然后用激光或者光刻的方法把一个微小区域的光刻胶 ...

求教again！我的试样整个10*10mm，但是我不太清楚这种激光打掉的方法能不能指哪打哪？因为得放大操作，毕竟晶粒太小了。 另：求教这种激光打的方法具体叫什么？北京哪里可以做呢？
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5楼2015-04-23 13:36:07
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