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红心鼠

金虫 (小有名气)

[求助] 请问目前用什么可以实现微米级涂封?急!! 已有1人参与

大家好!本人目前想对晶粒进行涂封,即在一个金属表面上只露出一个晶粒,其他地方用不导电的东西封上(比如指甲油),晶粒大小为1-20微米。请问用哪些方法可以实现??
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红心鼠

金虫 (小有名气)

送红花一朵
谢谢呢  但是好像不是我的问题
2楼2015-04-21 15:28:48
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
关键是你的金属整个多大???
方法很多,可以用CVD在表面长SiO,SiN,金刚石等等。然后用激光打掉一个点。
或者用喷胶的方式在表面喷一层光刻胶或者其他polymer,然后用激光或者光刻的方法把一个微小区域的光刻胶打掉。
3楼2015-04-22 12:41:52
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红心鼠

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2015-04-22 12:41:52
关键是你的金属整个多大???
方法很多,可以用CVD在表面长SiO,SiN,金刚石等等。然后用激光打掉一个点。
或者用喷胶的方式在表面喷一层光刻胶或者其他polymer,然后用激光或者光刻的方法把一个微小区域的光刻胶 ...

恩恩 现在我也在想这种方法  试样整个10*10mm,但是我不太清楚这种激光打掉的方法能不能指哪打哪?因为得放大操作,毕竟晶粒太小了。 另:求教这种激光打的方法具体叫什么?北京哪里可以做呢?
4楼2015-04-22 19:26:48
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红心鼠

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2015-04-22 12:41:52
关键是你的金属整个多大???
方法很多,可以用CVD在表面长SiO,SiN,金刚石等等。然后用激光打掉一个点。
或者用喷胶的方式在表面喷一层光刻胶或者其他polymer,然后用激光或者光刻的方法把一个微小区域的光刻胶 ...

求教again!我的试样整个10*10mm,但是我不太清楚这种激光打掉的方法能不能指哪打哪?因为得放大操作,毕竟晶粒太小了。 另:求教这种激光打的方法具体叫什么?北京哪里可以做呢?
5楼2015-04-23 13:36:07
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