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如何降低薄膜附着力
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镀在硅片上的铜，要降低附着力，能够用胶带粘下来。有什么方法？ 或者在硅表面先镀一层附着力较差的薄膜，再镀铜？ |
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 薄膜制备与特性 |
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2楼2015-04-22 15:44:48