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luing993

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】如何去除抛光液残留

小弟是做电子元件的可靠性分析,进行样品打磨已经4个月了,但是一直有一个问题存在。
    我打磨样品先是180目,接着600目---2400目---4000目。最后用0.3μ的氧化铝抛光液抛光。经常会出现抛光液残留在铜线上,很难去除。因为要做SEM,通常要放大到5000X,所以抛光液残留是不太允许的。不知道哪位有经验的能够给点建议。先谢了

[ Last edited by SHY31 on 2008-7-11 at 22:18 ]
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luing993

铁虫 (初入文坛)

非常感谢楼上的各位朋友。我用过牙膏抛,但是牙膏里的钙不规整,会破坏样品表面。我现在的方法是尽量少用抛光液,减少抛光时间(这就要求在4000目的时候打磨的要好些,细致些。)抛完了用水冲,最后用镜头纸擦拭。效果好些,但是还是有一定的抛光液残留。超声波清洗的办法估计是不行,会破坏里面的结构。试过降低强度,但是还是会出现孔洞,这些都是超过的结构,并不是真实的结构。用稀盐酸或碱溶液将残余的氧化铝融解掉是可以,但是与此同时,也会溶解掉铝层,这不是希望得到的结果。我还在想办法,如果有好的方法,我也会和大家分享的

此外,用清水抛确实能有一定的改善,但是带来的问题是会产生划痕,这是客户不允许的。因此,如果有朋友也从事这方面工作,我倒是建议用清水抛的同时加如一下润滑剂。

再次感谢大家的帮助。
10楼2008-07-14 09:53:14
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tjumark

金虫 (著名写手)

用酒精超声清洗后干燥
知足常乐,奋斗不息。
2楼2008-06-30 23:07:00
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luckypdg

丙酮中超声波清洗效果更好
3楼2008-07-02 12:56:51
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luing993

铁虫 (初入文坛)

谢谢楼上两位,不过意外有些降粘剂是不能用超声波的,因为胶和银的结合强度很低,轻微的超一下就碎了,这样就不能真实的反应原本的结构,所以不能用超声波清洗。此外,如果本来有孔洞,用超声波清洗后,抛光液残留物会明显的附着在孔洞附件,更加难以清洗
4楼2008-07-07 21:33:59
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