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luing993铁虫 (初入文坛)
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[交流]
【求助】如何去除抛光液残留
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小弟是做电子元件的可靠性分析，进行样品打磨已经4个月了，但是一直有一个问题存在。 我打磨样品先是180目，接着600目---2400目---4000目。最后用0.3μ的氧化铝抛光液抛光。经常会出现抛光液残留在铜线上，很难去除。因为要做SEM,通常要放大到5000X，所以抛光液残留是不太允许的。不知道哪位有经验的能够给点建议。先谢了 [ Last edited by SHY31 on 2008-7-11 at 22:18 ] |
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3楼2008-07-02 12:56:51
tjumark
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luing993
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