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likehoo11

铜虫 (小有名气)

[交流] [请教]PLD镀膜外延生长问题

利用PLD镀膜,经XRD检测,薄膜与基底的晶格失配为1.6%,可否认为薄膜是准外延生长?发小论文可以这样说吗?
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robinsonguo

木虫 (著名写手)

得看是不是单晶薄膜吧?
引用回帖:
Originally posted by likehoo11 at 2008-6-30 10:45:
利用PLD镀膜,经XRD检测,薄膜与基底的晶格失配为1.6%,可否认为薄膜是准外延生长?发小论文可以这样说吗?

2楼2008-06-30 11:59:51
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miloyy

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by likehoo11 at 2008-6-30 10:45:
利用PLD镀膜,经XRD检测,薄膜与基底的晶格失配为1.6%,可否认为薄膜是准外延生长?发小论文可以这样说吗?

这句话根本就不对,是不是外延生长不是由晶格适配多少决定的,要看他们之间的取向关系。
3楼2008-06-30 19:38:59
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bryano

木虫 (正式写手)

楼上正解,外延指的是有取向的单晶薄膜。衬底与薄膜的晶格常数,热膨胀系数等只是能否取向生长的前提。
4楼2008-07-05 00:45:29
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