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铜虫 (小有名气)

[交流] [请教]PLD镀膜外延生长问题

利用PLD镀膜，经XRD检测，薄膜与基底的晶格失配为1.6％，可否认为薄膜是准外延生长？发小论文可以这样说吗？

1楼 2008-06-30 10:45:31

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木虫 (著名写手)

得看是不是单晶薄膜吧？

引用回帖:

Originally posted by likehoo11 at 2008-6-30 10:45:
利用PLD镀膜，经XRD检测，薄膜与基底的晶格失配为1.6％，可否认为薄膜是准外延生长？发小论文可以这样说吗？

2楼2008-06-30 11:59:51

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木虫 (正式写手)

引用回帖:

Originally posted by likehoo11 at 2008-6-30 10:45:
利用PLD镀膜，经XRD检测，薄膜与基底的晶格失配为1.6％，可否认为薄膜是准外延生长？发小论文可以这样说吗？

这句话根本就不对，是不是外延生长不是由晶格适配多少决定的，要看他们之间的取向关系。

3楼2008-06-30 19:38:59

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木虫 (正式写手)

楼上正解，外延指的是有取向的单晶薄膜。衬底与薄膜的晶格常数，热膨胀系数等只是能否取向生长的前提。

4楼2008-07-05 00:45:29

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