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南方科技大学公共卫生及应急管理学院2026级博士研究生招生报考通知(长期有效)
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haikuols

新虫 (初入文坛)

[求助] 50微米PDMS薄膜怎么从硅片上取下,硅烷化硅片表面一般接触角多大才容易取下薄膜已有1人参与

1、想在硅片上旋涂PDMS薄膜,但是很难取下,用三甲基氯硅烷改性硅片表面接触角才97度,怎么样才能得到更疏水的效果?(硅片没等离子处理)
2、还有没有什么好办法可以揭下pdms薄膜,有时候虽然能揭下来,但是膜会卷曲,想得到平整的薄膜怎么解决?

知道的可以介绍下各位的方法,谢谢~!
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桔子小宝

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
haikuols(likedong1021代发): 金币+15, 感谢回帖交流! 2015-07-11 21:21:35
硅片表面等离子处理,我用十二烷基氯硅烷溶液法处理疏水性很好,同时Pdms固化温度提高一下更容易剥离下来。
2楼2015-04-28 22:24:06
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江一乐

新虫 (初入文坛)

请问楼主用三甲基氯硅烷进行改性时,是将硅片浸泡在TMCS中还是在其周围滴几滴?
3楼2019-04-26 17:18:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


找研材微纳买氟硅烷的脱模剂。
如果想得到很平整的膜,那是另外一套工艺,建议直接联系他们技术部门。
4楼2019-04-30 17:29:16
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