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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » Turbo pump能达到多高的真空度？
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jerryxinjie

禁虫 (正式写手)
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1楼 2015-03-30 01:28:34
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jinghuasu

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
以前上课提到涡轮分子泵的极限真空度可以达到10-8Pa，但这是理论。实际要看你用的哪家的仪器和你们用仪器时间的长久，正常情况下可以10-4这个量级是不成问题的。我们沈科仪的可以抽到5*10-4Pa，希望对你有用
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3楼2015-03-30 08:01:14
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metaliium

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
分子泵一般到10^-4pa(10^-6mB)差不多了。。。具体的取决于泵本身的能力和腔体情况
如果阀门全都关上气压还会升高那肯定是有漏了；如果只关离子泵阀门分子泵继续抽，可能确实维持不住气压。
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2楼2015-03-30 02:40:28
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
实际应用中，分子泵抽到-5Pa肯定没有问题的，但取决于腔体大小，内部环境，分子泵规格。

真空系统都是其内部气体分子在固体表面的吸附和脱附的动态平衡，停掉离子泵就让脱附降低，打破了这个平衡，内部压强就会升高，不关乎门阀的事
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4楼2015-03-30 09:55:30
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RichardTimer

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
关了阀之后气压还在升高的话有可能是之前吸附在真空腔上的气体在out gasing（假如没有漏气的话）。
有条件的话装个RGA分析一下腔里面气体组分，然后baking一下，应该会有提升吧
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5楼2015-04-07 04:16:05
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