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lijun2671木虫 (正式写手)
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[求助]
请问等离子体发生器不稳定该怎么办？顺便求此仪器价格预算，谢谢大家！ 已有1人参与
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现在做等离子体原子层沉积 实验室的等离子发生器产生的等离子体在上次打开主反应室清洁之后，变得特别不稳定。Reflect power很高，而且目测等离子体不是稳定的淡紫色了，而是有闪光在里面。请问大家可能的原因是什么呢？是射频发生器的不稳定吗？还是其他的地方？ 还有如果能告知 能用作此PEALD的等离子体发生器的价格，不胜感激，谢谢大家拉~ |
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4楼2015-04-07 08:38:23
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