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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问等离子体发生器不稳定该怎么办？顺便求此仪器价格预算，谢谢大家！
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lijun2671

木虫 (正式写手)

[求助] 请问等离子体发生器不稳定该怎么办？顺便求此仪器价格预算，谢谢大家！ 已有1人参与

现在做等离子体原子层沉积
实验室的等离子发生器产生的等离子体在上次打开主反应室清洁之后，变得特别不稳定。Reflect power很高，而且目测等离子体不是稳定的淡紫色了，而是有闪光在里面。请问大家可能的原因是什么呢？是射频发生器的不稳定吗？还是其他的地方？
还有如果能告知 能用作此PEALD的等离子体发生器的价格，不胜感激，谢谢大家拉~
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1楼 2015-03-26 10:21:37
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电池乐乐

木虫 (正式写手)
是不是腔体温度不正常
我们用的等离子体发生器是个什么Noratel这个牌子的
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2楼2015-03-27 16:08:56
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lijun2671

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 电池乐乐 at 2015-03-27 17:08:56
是不是腔体温度不正常
我们用的等离子体发生器是个什么Noratel这个牌子的

谢谢你的回答～后来我在阿里爸爸上面找到了类似的，几万块钱左右。我们用的是美国advanced energy 的，中国制造，用了好几年了，可能也是时间久了？
腔体温度有两个温度传感器显示都正常，前几天打开仔细清理了一下反应室内壁和加热器，这周效果果然好了很多，下次有时间会清理电极。
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在读博士专业翻译英文法文留学申请陶瓷文书
3楼2015-04-06 16:32:46
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电池乐乐

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by lijun2671 at 2015-04-06 16:32:46
谢谢你的回答～后来我在阿里爸爸上面找到了类似的，几万块钱左右。我们用的是美国advanced energy 的，中国制造，用了好几年了，可能也是时间久了？
腔体温度有两个温度传感器显示都正常，前几天打开仔细清理了一 ...

不客气，能用了就好，你是哪里？也用ALD做？我也是，可以私信交流吗
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4楼2015-04-07 08:38:23
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