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zel2002金虫 (正式写手)
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[交流]
【请教】硅烷气体的使用方法!!
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最近想用CVD法硅烷做硅源做实验,听说硅烷很危险,问下大家都是怎么使用的,老板说混合氩气使用,10%硅烷配90%的氩气。听听高手的建议!!谢谢 [ Last edited by zel2002 on 2008-6-25 at 08:49 ] |
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zel2002
金虫 (正式写手)
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cord
铁杆木虫 (著名写手)
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