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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【请教】硅烷气体的使用方法！！
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zel2002

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】硅烷气体的使用方法！！

最近想用CVD法硅烷做硅源做实验，听说硅烷很危险，问下大家都是怎么使用的，老板说混合氩气使用，10%硅烷配90%的氩气。听听高手的建议！！谢谢

[ Last edited by zel2002 on 2008-6-25 at 08:49 ]
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1楼 2008-06-24 21:19:09
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zel2002

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by cord at 2008-6-24 23:38:
硅烷是一种极易跟氧气反应的气体，毒性倒是很小
使用硅烷前一定要确保气路、反应腔室的密封性，排空滞留的空气
硅烷瓶子最好放在低压环境下，保持通风，瓶口放置Sensor，紧急情况下可以远程关闭瓶子。
不论是纯 ...

放在低压的环境下？不是吧。能具体说说吧。
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4楼2008-06-25 08:50:38
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nteins

金虫 (小有名气)
你们老板好有钱啊，听说硅烷很贵的。。。
危险么，只是有毒而已，有sensor的话应该没事。
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2楼2008-06-24 21:48:01
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
jackchen145(金币+2,VIP+0):谢谢应助，欢迎常来纳米版！
硅烷是一种极易跟氧气反应的气体，毒性倒是很小
使用硅烷前一定要确保气路、反应腔室的密封性，排空滞留的空气
硅烷瓶子最好放在低压环境下，保持通风，瓶口放置Sensor，紧急情况下可以远程关闭瓶子。
不论是纯的，还是稀释的硅烷都要小心
硅烷用氩气稀释在硅薄膜太阳电池中有的实验室在用，多数实验室用的是硅烷加氢气稀释。
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3楼2008-06-24 23:38:59
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹
易燃易爆，毒性到时其次，因为遇到空气立马就反应生产SiO2 了。
尾气要用大量的N2稀释，要不是会很危险的，我有两次尾气稀释的N2浓度不足烧了起来，还好都不严重，嘿嘿，刺激啊
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以后是做爹的人啦
5楼2008-06-30 20:17:05
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