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zel2002金虫 (正式写手)
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[交流]
【请教】硅烷气体的使用方法！！
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最近想用CVD法硅烷做硅源做实验，听说硅烷很危险，问下大家都是怎么使用的，老板说混合氩气使用，10%硅烷配90%的氩气。听听高手的建议！！谢谢 [ Last edited by zel2002 on 2008-6-25 at 08:49 ] |
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