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tonggege铜虫 (初入文坛)
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国内用CVD做TiN薄膜最好的单位是哪里啊已有2人参与
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| 如题，需要通过CVD的方法在在金属钽片上制备一层大概1um的TiN薄膜，用于电化学氢渗透的测试，与PVD制备的TiN薄膜进行对比，请问哪里有专门用CVD制备TiN薄膜的设备 |
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wadaxiwa
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