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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 国内用CVD做TiN薄膜最好的单位是哪里啊
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tonggege

铜虫 (初入文坛)

[求助] 国内用CVD做TiN薄膜最好的单位是哪里啊 已有2人参与

如题，需要通过CVD的方法在在金属钽片上制备一层大概1um的TiN薄膜，用于电化学氢渗透的测试，与PVD制备的TiN薄膜进行对比，请问哪里有专门用CVD制备TiN薄膜的设备
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阳光总在风雨后，莫言天道不酬勤~~~
1楼 2015-03-20 21:42:33
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wadaxiwa

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

同样想知道国内哪里可以用CVD长TIN的
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4楼2022-01-20 10:51:29
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yzh137575013

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

设备是设备 单位是单位  没有国产设备可以专业做 除非自己搭建 管式炉自己搞  设备都是进口的  昆山爱恩邦德 做的还不错
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2楼2020-09-29 14:30:07
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yzh137575013

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你这要求蛮高  可以镀膜以后拿回去自己磨一层到1微米
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3楼2020-09-29 14:31:24
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