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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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赢心小子

新虫 (初入文坛)

[求助] 斜切单晶基片 已有1人参与

买的斜切的LaAlO3和SrTiO3单晶基片需要化学腐蚀和热处理才能在表面形成台阶结构吗?具体怎么处理?
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没有办不好的事
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
以前用过,记得LAO和STO应该还好吧,好像不用再处理,如果想处理的话好像是在O2环境中退火一段时间,具体什么参数不记得了。可以咨询一下购买的厂商
2楼2015-03-20 11:47:35
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赢心小子

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by vincentwz at 2015-03-20 11:47:35
以前用过,记得LAO和STO应该还好吧,好像不用再处理,如果想处理的话好像是在O2环境中退火一段时间,具体什么参数不记得了。可以咨询一下购买的厂商

不处理表面有规则的台阶吗,影响使用吗,,看论文有的斜切STO需要先腐蚀再退火处理
没有办不好的事
3楼2015-03-22 19:58:15
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
赢心小子: 金币+30, ★★★很有帮助 2015-03-23 19:21:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by 赢心小子 at 2015-03-22 19:58:15
不处理表面有规则的台阶吗,影响使用吗,,看论文有的斜切STO需要先腐蚀再退火处理...

可以尝试一些退火条件,然后做afm比较看看

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2015-03-22 23:24:29
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赢心小子

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by vincentwz at 2015-03-22 23:24:29
可以尝试一些退火条件,然后做afm比较看看
...

你当时在O2中退火处理后,测AFM看到规则台阶了吗
没有办不好的事
5楼2015-03-23 19:21:17
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