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斜切单晶基片
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赢心小子
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斜切单晶基片
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买的斜切的LaAlO3和SrTiO3单晶基片需要化学腐蚀和热处理才能在表面形成台阶结构吗?具体怎么处理?
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1楼
2015-03-17 11:56:34
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vincentwz
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感谢参与,应助指数 +1
以前用过,记得LAO和STO应该还好吧,好像不用再处理,如果想处理的话好像是在O2环境中退火一段时间,具体什么参数不记得了。可以咨询一下购买的厂商
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2015-03-20 11:47:35
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2楼
:
Originally posted by
vincentwz
at 2015-03-20 11:47:35
以前用过,记得LAO和STO应该还好吧,好像不用再处理,如果想处理的话好像是在O2环境中退火一段时间,具体什么参数不记得了。可以咨询一下购买的厂商
不处理表面有规则的台阶吗,影响使用吗,,看论文有的斜切STO需要先腐蚀再退火处理
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3楼
2015-03-22 19:58:15
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★★★
很有帮助
2015-03-23 19:21:41
引用回帖:
3楼
:
Originally posted by
赢心小子
at 2015-03-22 19:58:15
不处理表面有规则的台阶吗,影响使用吗,,看论文有的斜切STO需要先腐蚀再退火处理...
可以尝试一些退火条件,然后做afm比较看看
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼
2015-03-22 23:24:29
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4楼
:
Originally posted by
vincentwz
at 2015-03-22 23:24:29
可以尝试一些退火条件,然后做afm比较看看
...
你当时在O2中退火处理后,测AFM看到规则台阶了吗
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5楼
2015-03-23 19:21:17
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