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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 斜切单晶基片
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赢心小子

新虫 (初入文坛)

[求助] 斜切单晶基片 已有1人参与

买的斜切的LaAlO3和SrTiO3单晶基片需要化学腐蚀和热处理才能在表面形成台阶结构吗？具体怎么处理？
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没有办不好的事
1楼 2015-03-17 11:56:34
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
以前用过，记得LAO和STO应该还好吧，好像不用再处理，如果想处理的话好像是在O2环境中退火一段时间，具体什么参数不记得了。可以咨询一下购买的厂商
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2楼2015-03-20 11:47:35
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赢心小子

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by vincentwz at 2015-03-20 11:47:35
以前用过，记得LAO和STO应该还好吧，好像不用再处理，如果想处理的话好像是在O2环境中退火一段时间，具体什么参数不记得了。可以咨询一下购买的厂商

不处理表面有规则的台阶吗，影响使用吗，，看论文有的斜切STO需要先腐蚀再退火处理
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没有办不好的事
3楼2015-03-22 19:58:15
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
赢心小子: 金币+30, ★★★很有帮助 2015-03-23 19:21:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by 赢心小子 at 2015-03-22 19:58:15
不处理表面有规则的台阶吗，影响使用吗，，看论文有的斜切STO需要先腐蚀再退火处理...

可以尝试一些退火条件，然后做afm比较看看

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2015-03-22 23:24:29
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赢心小子

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by vincentwz at 2015-03-22 23:24:29
可以尝试一些退火条件，然后做afm比较看看
...

你当时在O2中退火处理后，测AFM看到规则台阶了吗
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没有办不好的事
5楼2015-03-23 19:21:17
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