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xylang

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问用什么方法可以在单晶硅片上打孔

请问,可以用什么方法在单晶硅片上打大约直径2mm的孔?

非常感谢

[ Last edited by SHY31 on 2008-6-21 at 15:37 ]
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njrlfu

至尊木虫 (知名作家)


xylang(金币+1,VIP+0):Thanks
激光打孔,有专门的激光加工设备可以做这件事。
2楼2008-06-21 15:46:56
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xylang

金虫 (正式写手)

但我们这里没有激光加工的地方啊。

还有其他的方法吗?非常感谢
3楼2008-06-21 15:49:05
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mcp7627

木虫 (正式写手)

很想知道,期待中。。。
4楼2008-06-22 09:45:19
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happyguo

木虫 (小有名气)


xylang(金币+1,VIP+0):Thanks
做掩膜腐蚀,,,,强碱腐蚀。。。。。。
5楼2008-06-22 10:03:33
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likehoo11

铜虫 (小有名气)

其实你可以找找你附近有没有CO2激光器,自己就可以做了。这机器应该很普遍,国产的就几W元,应该到处都有,你好好打听下。找到的话你讲硅片放到激光器焦距处,精度应该可以到1mm。不知道能不能满足你的要求。
6楼2008-06-24 21:23:55
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likehoo11

铜虫 (小有名气)

其实你可以找找你附近有没有CO2激光器,自己就可以做了。这机器应该很普遍,国产的就几W元,应该到处都有,你好好打听下。找到的话你讲硅片放到激光器焦距处,精度应该可以到1mm。不知道能不能满足你的要求。
7楼2008-06-24 21:24:37
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cumtdgm

铜虫 (初入文坛)

超声波

用超声波可以在硅片上打孔、电子束应该也可以
8楼2008-12-09 07:05:39
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ljgong

木虫 (小有名气)

制作电镜样品时用的超声打孔机可以打3mm的空!
9楼2008-12-09 08:17:28
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