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huanli688

新虫 (初入文坛)

[求助] 求教我的pecvd突然不起辉了怎么办 已有5人参与

我的pecvd上次用时还好好的,这次打开用时就不能起辉了。射频反射功率很高,并且没有自偏压。求大神指点应该怎么办
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741741741

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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因素很多啊,压力是不是不合适?
坚持梦想
2楼2015-03-12 14:48:06
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pptang

荣誉版主 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
全反射,你是自动匹配还是手动匹配,自动匹配的话,你要查看一下你的硬件,手动匹配的话,你在找一下匹配点
您的支持,是我的动力!!!
3楼2015-03-12 16:53:04
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
点火器,是否正常?
可能RF电源出现了问题;
最好与供应商工程师打电话,不要盲目操作!
4楼2015-03-12 18:51:08
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
什么样的配置?之前做过什么?先确保所有的接线和连接都没有问题。
5楼2015-03-13 06:12:13
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
沒有 Plasma 當然不可能有 Self-bias,這是因果關係。

1.] matcher是否壞了 (最可能)。
2.] 真空壓力 (一般就算差一點還是會有反應)
3.] RF 線路上各個接點、電纜是否正常。
     我遇過一次在大氣、真空接面上,一個??頭連接棒燒熔,導致不能工作。
6楼2015-03-13 09:08:41
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