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patriotic

[交流] 【请教】该用什么方法进行物相鉴定

请教高手
我的样品是块状金属,经过一定处理后表面形成了一层薄膜,大约30纳米厚。现在想鉴定这层薄膜的成分,尝试过XRD,但是可能含量太少未能检测到。
请问还有什么办法可以尝试么?

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-6-18 at 23:46 ]
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njrlfu

至尊木虫 (知名作家)


FLY_Phoenix(金币+1,VIP+0):谢谢
俄歇电子能谱或XPS光电子能谱,探测深度不超过10nm。上述两种方法主要用于定性分析,定量困难,另外也可以考虑二次离子质谱分析表面元素组成,轻元素也可以分析。
2楼2008-06-18 22:13:00
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temedx

专家顾问 (著名写手)


FLY_Phoenix(金币+1,VIP+0):谢谢帮助
鉴定物相XRD是最好的了,有的XRD配有薄膜测试装置,可以专门测试薄膜样品,另外,可以减小扫描步长,增加扫描时间,效果也会好一些。

关于薄膜的XRD测试,应该有一本书专门讲的:薄膜结构X射线表征:
http://www.tushucheng.com/book/1856741.html
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
3楼2008-06-19 09:00:27
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