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[交流] 【请教】该用什么方法进行物相鉴定

请教高手
我的样品是块状金属，经过一定处理后表面形成了一层薄膜，大约30纳米厚。现在想鉴定这层薄膜的成分，尝试过XRD，但是可能含量太少未能检测到。
请问还有什么办法可以尝试么？

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-6-18 at 23:46 ]

1楼 2008-06-18 21:46:53

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至尊木虫 (知名作家)

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FLY_Phoenix(金币+1,VIP+0):谢谢

俄歇电子能谱或XPS光电子能谱，探测深度不超过10nm。上述两种方法主要用于定性分析，定量困难，另外也可以考虑二次离子质谱分析表面元素组成，轻元素也可以分析。

2楼2008-06-18 22:13:00

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专家顾问 (著名写手)

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FLY_Phoenix(金币+1,VIP+0):谢谢帮助

鉴定物相XRD是最好的了，有的XRD配有薄膜测试装置，可以专门测试薄膜样品，另外，可以减小扫描步长，增加扫描时间，效果也会好一些。

关于薄膜的XRD测试，应该有一本书专门讲的：薄膜结构X射线表征：
http://www.tushucheng.com/book/1856741.html

Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.

3楼2008-06-19 09:00:27

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