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桐叶下飘雨

木虫 (著名写手)

台湾省委副书记、省长滨溪桥

[求助] 请问膜内部的金属含量能测试吗? 已有3人参与

膜表面的金属分布和含量可以通过XPS EDS来测试
请问膜内部的金属含量能测试吗?
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台湾省委副书记、省长江大桥
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jiayi494462

铁杆木虫 (正式写手)

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桐叶下飘雨: 金币+28, ★★★很有帮助, 谢谢你 热重的话 看残量 感觉不是很有说服力哈 2015-03-02 12:41:01
膜内部是指除了用XPS和EDS能测到的之外的部分吧。
不知具体样品是什么,你看看用热重分析行不行。
2楼2015-03-01 18:09:55
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jiayi494462

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

不过这样只能测总体含量,对分布无能为力
3楼2015-03-01 18:11:15
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dwysd

木虫 (著名写手)

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桐叶下飘雨: 金币+38, ★★★很有帮助, 谢谢你 不过这个也是有个极限对吗? 网上查了似乎到了10nm再想往里就很难了 2015-03-02 12:42:45
XPS系统有自带的Ar离子枪刻蚀系统,可对薄膜进行刻蚀剥离,测试薄膜内部,测试深度与刻蚀能量与刻蚀时间有关。可以实现元素沿深度分布测试。不过费用较高。
4楼2015-03-01 20:52:36
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jiayi494462

铁杆木虫 (正式写手)

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桐叶下飘雨: 金币+38, ★★★很有帮助, 谢谢你 哈哈 这个测试真贵 也就中科院能敢测 2015-03-02 15:15:56
如果样品很好,组里有机时,去测XAFS应该可以
5楼2015-03-02 13:52:32
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

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桐叶下飘雨: 金币+50, ★★★很有帮助, 非常感谢 受益匪浅 2015-03-02 15:19:49
eds根本不是用来测表面的,是体相分析,大概深度在几个微米,XPS是表面技术,深度5nm以内,做深度分析如果有很好的断面最好办,直接用透射或者扫描能谱就能看出来分布,不好做的话XPS一层层用离子枪打,不过很难做成像,或者俄歇电子分析,可以成像,但是信噪比通常比较差,SIMS也可以用来考虑,不过通常很难定量
6楼2015-03-02 15:17:31
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

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桐叶下飘雨: 金币+38, ★★★很有帮助, 非常感谢您! 2015-03-02 15:28:17
另外Ar离子枪溅射速度大概在0.5A/s所以做个一两百nm至少不是很难的事情,问题不大的
7楼2015-03-02 15:20:17
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