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dwaynecheung

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[求助] 用SEM的BSE看磁钢spinodal phases的问题已有3人参与

大家好，最近在用SEM(新设备)看磁钢的phase(样品为块体，经过磁化热处理和抛光)。发现分辨率特别不好，也看不到Fe-Co相和Al-Ni相。
用SE只能看到一些表面的杂质，用BSE也看不到相。我尝试将电压加到最大和适当倾斜样品以增大BSE的系数；镀金增加导电性也没有带来明显的改善。
我现在怀疑样品的磁场对电子束有影响，导致分辨率不好，但是即使是也不会导致BSE看不见相吧？请大家来讨论讨论。谢谢啦！

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1楼 2015-02-21 00:09:10

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dwaynecheung

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引用回帖:

8楼: Originally posted by gxytju2008 at 2015-02-25 00:55:34
导电不好去喷碳，要看bse的话，磁性的话要退磁，如果是磁场问题就不是哪个探测器能用的问题了，可能根本无法聚焦的，另外块状要注意固定好用胶粘好，磁性强的话光导电胶带可能都不行，块状要是吸进去。。坏的比粉末 ...

非常感谢，我将样品的一部分镀金了，分辨率依然没有改善。我也怀疑过是磁场的问题，还没有试。尝试过ETD，TLD，ICE探头，都没有改善。书上说BSE利用的是相的原子序数不同来实现对比的，我算了两相的对比度，大概10%左右。书上说要实现相对比，对比大于10%可以较容易的看到相，1-10%要用特别的技巧，但是不太清楚是什么技巧。我尝试过倾斜一定的角度10°，来增大backscattering的系数，但是效果不明显。请问有什么建议吗？