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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » Cu膜电阻率的测量
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aaron5235

木虫 (正式写手)

[求助] Cu膜电阻率的测量 已有1人参与

请问磁控溅射制备的Cu膜如何测量呢？四探针误差是不是很大，取决于膜厚呢？数字源表测的I-V曲线可以计算吗？
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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
1楼 2015-01-30 17:02:07
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metaliium

银虫 (正式写手)
薄膜不均匀的话四探针当然就不准了，但不均匀的话任何方法大概都不准了。。。= =
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3楼2015-01-31 01:12:29
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与，应助指数 +1
四探针当然是比较准确的测量方法，如果有的话，建议使用。

如果你这个铜膜太薄的话，不建议使用四探针，会把铜膜滑坡，可以使用面阻测试仪，这种非接触的测量方法。
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2楼2015-01-30 21:34:41
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