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aaron5235

木虫 (正式写手)

[求助] Cu膜电阻率的测量 已有1人参与

请问磁控溅射制备的Cu膜如何测量呢?四探针误差是不是很大,取决于膜厚呢?数字源表测的I-V曲线可以计算吗?
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人生在世,俯仰之间,唯有追求卓越,但求尽其所能
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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四探针当然是比较准确的测量方法,如果有的话,建议使用。

如果你这个铜膜太薄的话,不建议使用四探针,会把铜膜滑坡,可以使用面阻测试仪,这种非接触的测量方法。
2楼2015-01-30 21:34:41
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metaliium

银虫 (正式写手)

薄膜不均匀的话四探针当然就不准了,但不均匀的话任何方法大概都不准了。。。= =
3楼2015-01-31 01:12:29
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